經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng) 記者 李靖恒 1月20日,晶瑞股份(300655.SZ)的股價大漲。截止中午11點30分,漲幅達(dá)到6.93%, 報35.57元。
就在19日,晶瑞股份(300655.SZ)發(fā)布了“關(guān)于購買光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)展情況的公告”。公告表示,為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目,“經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運作,順利購得ASMLXT1900Gi型光刻機(jī)一臺。”
經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者采訪了晶瑞股份,咨詢有關(guān)光刻膠的生產(chǎn)研發(fā)狀況。對方向記者表示:“公司目前正在生產(chǎn)和銷售的半導(dǎo)體光刻膠主要包括I 線和G 線光刻膠,此外還有印制電路板(PCB)和液晶顯示器(LCD)光刻膠等;購買的光刻機(jī)主要用于未來高端半導(dǎo)體光刻機(jī)的研發(fā)。”
上述公告亦顯示,該臺光刻機(jī)已于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室,下一步,公司將積極組織相關(guān)資源,盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。
關(guān)于購買該設(shè)備的背景,公告則稱:目前高端集成電路材料的核心產(chǎn)業(yè)化技術(shù)仍掌握在國外企業(yè)手中,大部分市場份額仍被外企所占據(jù),不少集成電路用關(guān)鍵材料已經(jīng)成為我國“卡脖子”的技術(shù)領(lǐng)域,在國際環(huán)境日益嚴(yán)峻的情況下,如不能成功實現(xiàn)該領(lǐng)域的國產(chǎn)化,未來將付出更大的代價。公司完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段,達(dá)到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機(jī)設(shè)備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目的必要實驗設(shè)備,旨在研發(fā)出更高端的ArF光刻膠,若研發(fā)工作進(jìn)展順利,將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越,并最終實現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。
有關(guān)光刻機(jī)的具體研發(fā)用途,晶瑞股份還進(jìn)一步表示:“公司采購的光刻機(jī)設(shè)備為ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機(jī),可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。”
當(dāng)天,為了迎接這臺光刻機(jī),晶瑞股份還現(xiàn)場舉行了搬入儀式。晶瑞股份董事長吳天舒在現(xiàn)場講話中表示:“浸沒式光刻機(jī)是高端光刻膠研發(fā)的關(guān)鍵設(shè)備,盡管投入巨大,晶瑞股份還是下定決心購買。為解決集成電路制造領(lǐng)域關(guān)鍵材料“卡脖子”問題,加速高端ArF光刻膠研發(fā),建立研發(fā)平臺,公司后續(xù)還將購置其他相關(guān)輔助設(shè)備,并盡早完成設(shè)備的安裝調(diào)試,投入使用。”
經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者記者還了解到,2020年年底已經(jīng)有國內(nèi)企業(yè)研發(fā)出了高端的ArF光刻膠。2020年12月17日,南大光電(300346.SZ)發(fā)布公告稱,子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品近日成功通過客戶的使用認(rèn)證,成為國內(nèi)通過產(chǎn)品驗證的第一款國產(chǎn)ArF光刻膠。
太平洋證券在2020年12月發(fā)表的一篇研究報告《ArF光刻膠認(rèn)證通過,國產(chǎn)替代龍頭進(jìn)階在即》中曾指出:“據(jù)全球半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會SEMI最新數(shù)據(jù),2020年全球半導(dǎo)體材料市場將達(dá)到 529.4億美元,且2021年將增長至563.6億美元,同比增長6%。而在眾多半導(dǎo)體材料體系中,制備難度和技術(shù)重要性首屈一指的,非光刻膠莫屬。作為 IC光刻工藝中,光刻膠扮演著電路圖案載體的重要角色,其品質(zhì)好壞直接決定著光刻制程的成敗。此外,光刻膠分辨率所能達(dá)到的極限指標(biāo),便是光刻工藝的極限領(lǐng)域。”
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