經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng) 記者 李靖恒 1月20日，晶瑞股份（300655.SZ）的股價大漲。截止中午11點30分，漲幅達(dá)到6.93%, 報35.57元。

就在19日，晶瑞股份（300655.SZ）發(fā)布了“關(guān)于購買光刻機(jī)設(shè)備進(jìn)展情況的公告”。公告表示，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，“經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運作，順利購得ASMLXT1900Gi型光刻機(jī)一臺。”

經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者采訪了晶瑞股份，咨詢有關(guān)光刻膠的生產(chǎn)研發(fā)狀況。對方向記者表示：“公司目前正在生產(chǎn)和銷售的半導(dǎo)體光刻膠主要包括I 線和G 線光刻膠，此外還有印制電路板（PCB）和液晶顯示器（LCD）光刻膠等；購買的光刻機(jī)主要用于未來高端半導(dǎo)體光刻機(jī)的研發(fā)。”

上述公告亦顯示，該臺光刻機(jī)已于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室，下一步，公司將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。

關(guān)于購買該設(shè)備的背景，公告則稱：目前高端集成電路材料的核心產(chǎn)業(yè)化技術(shù)仍掌握在國外企業(yè)手中，大部分市場份額仍被外企所占據(jù)，不少集成電路用關(guān)鍵材料已經(jīng)成為我國“卡脖子”的技術(shù)領(lǐng)域，在國際環(huán)境日益嚴(yán)峻的情況下，如不能成功實現(xiàn)該領(lǐng)域的國產(chǎn)化，未來將付出更大的代價。公司完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機(jī)設(shè)備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目的必要實驗設(shè)備，旨在研發(fā)出更高端的ArF光刻膠，若研發(fā)工作進(jìn)展順利，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。

有關(guān)光刻機(jī)的具體研發(fā)用途，晶瑞股份還進(jìn)一步表示：“公司采購的光刻機(jī)設(shè)備為ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機(jī)，可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。”

當(dāng)天，為了迎接這臺光刻機(jī)，晶瑞股份還現(xiàn)場舉行了搬入儀式。晶瑞股份董事長吳天舒在現(xiàn)場講話中表示：“浸沒式光刻機(jī)是高端光刻膠研發(fā)的關(guān)鍵設(shè)備，盡管投入巨大，晶瑞股份還是下定決心購買。為解決集成電路制造領(lǐng)域關(guān)鍵材料“卡脖子”問題，加速高端ArF光刻膠研發(fā)，建立研發(fā)平臺，公司后續(xù)還將購置其他相關(guān)輔助設(shè)備，并盡早完成設(shè)備的安裝調(diào)試，投入使用。”

經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者記者還了解到，2020年年底已經(jīng)有國內(nèi)企業(yè)研發(fā)出了高端的ArF光刻膠。2020年12月17日，南大光電（300346.SZ）發(fā)布公告稱，子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品近日成功通過客戶的使用認(rèn)證，成為國內(nèi)通過產(chǎn)品驗證的第一款國產(chǎn)ArF光刻膠。

太平洋證券在2020年12月發(fā)表的一篇研究報告《ArF光刻膠認(rèn)證通過，國產(chǎn)替代龍頭進(jìn)階在即》中曾指出：“據(jù)全球半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會SEMI最新數(shù)據(jù)，2020年全球半導(dǎo)體材料市場將達(dá)到 529.4億美元，且2021年將增長至563.6億美元，同比增長6%。而在眾多半導(dǎo)體材料體系中，制備難度和技術(shù)重要性首屈一指的，非光刻膠莫屬。作為 IC光刻工藝中，光刻膠扮演著電路圖案載體的重要角色，其品質(zhì)好壞直接決定著光刻制程的成敗。此外，光刻膠分辨率所能達(dá)到的極限指標(biāo)，便是光刻工藝的極限領(lǐng)域。”